ＣＭＣ ＴＬ 機能性無機膜―開発技術と応用 （普及版）

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ＣＭＣ　ＴＬ
機能性無機膜―開発技術と応用（普及版）

上條榮治【監修】
価格 ¥5,060（本体¥4,600）
シーエムシー出版（2011/09発売）
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サイズ A5判／ページ数 305p／高さ 22cm
商品コード 9784781303598
NDC分類 571.4
Cコード C3058

第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法　ほか）
第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置　ほか）
第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力　ほか）
第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）
第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）