内容説明
医療、食品、農業など、さまざまな分野で機能水が注目され始めている。中でも、半導体洗浄においては、一部システムに組み込まれ、研究開発も進んでいる。本書では、地球環境の保全が重要な課題となる昨今、あらたな可能性を秘めた機能水を幅広く取り上げ、さまざまな洗浄技術の改善に役立つ入門書を目指す。
目次
第１章 機能水とは
第２章 機能水の分類
第３章 各種分野における機能水の利用
第４章 機能水の利用事例
第５章 水の活性化とこれからの機能水
著者等紹介
都田昌之［トダマサユキ］
１９６６年東北大学工学部化学工学科卒業。１９７１年同大学大学院工学研究科博士課程化学工学専攻修了工学博士。東北大学工学部助教授、オハイオ州立大学客員教授を経て、１９８８年より、山形大学工学部教授。専門領域は、半導体化学工学、界面化学、化学工学、反応装置工学。現在、「ＭＯＣＶＤによる強誘電体薄膜形成」、「オゾン吸着」、「マイクロ波吸収と洗浄効果」、「超音波励起水によるウェハ表面のエッチング現象」に関する研究などを行っている
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