内容説明
ＭＥＭＳ（微小機械電気システム）の応用分野が拡大している。従来の自動車のエアバッグ、情報通信機器への応用から、最近はゲーム機、製造装置、科学機器、医療福祉機器分野での採用も始まっている。本書では、入門者がＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までを学べるよう解説した。
目次
第１章 マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
第２章 ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合プロセス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
第３章 ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
第４章 ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）
著者等紹介
江刺正喜［エサシマサヨシ］
１９７１年東北大学工学部電子工学科卒業。１９７６年東北大学大学院博士課程修了、東北大学工学部助手。１９８１年東北大学工学部助教授。１９９０年東北大学工学部教授。１９９５～１９９８年東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー長。２００６～２００９年東北大学大学院工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センタ長。現在、東北大学原子分子材料科学高等研究機構（ＷＰＩ‐ＡＩＭＲ）教授。半導体センサ、マイクロマシーニングによる集積化システム、ＭＥＭＳの研究に従事し、研究開発において先導的な役割を果たしてきた（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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