内容説明
人にも製造物にもやさしい環境分離技術。「局所クリーン化」とは、人と製造物、それぞれに最適な環境を与える環境分離技術を指す。ゴミや微粒子が完全排除されるので、求める高品質が簡単に実現できる。その一方で、危険物質にさらされる３Ｋ環境から人間を解放してくれる。本書は、この革新的モノづくり技法について、原理から、半導体先端工場の実例、実装工場や食品工場、医薬品工場、バイオ技術、先端Ｒ＆Ｄシステムへの展開までをわかりやすくまとめた。
目次
第１章 局所クリーン化とは
第２章 既存クリーン化との比較
第３章 生産性のイノベーションと局所クリーン化
第４章 キーとなる要素技術
第５章 システム事例
第６章 産業への応用展開
著者等紹介
原史朗［ハラシロウ］
独立行政法人産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門主任研究員。早稲田大学理工学部助手、理化学研究所基礎科学特別研究員を経て、１９９３年工業技術院電子技術総合研究所（現産業技術総合研究所）入所。２００１～２００１年（財）新機能素子研究開発協会出向、研究開発部統括部長兼企画室長。工学博士（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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