内容説明
本書は、半導体製造装置の入門書であるが、単に半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように執筆されている。
目次
第０章 半導体製造装置という世界
第１章 半導体デバイスの製造工程
第２章 半導体製造装置の技術史
第３章 半導体製造装置の種類と役割
第４章 半導体製造装置の構成と方式
第５章 各種半導体製造装置の概要
第６章 半導体製造装置の現場
第７章 半導体製造装置の技術要素
第８章 半導体製造装置技術のロードマップ
第９章 ２１世紀の半導体製造装置―半導体製造装置進化論
