フォトマスク技術のはなし―超ＬＳＩ、液晶、プリント板を支える

田辺 功/竹花 洋一/法元 盛久【共著】

工業調査会（1996/08発売）

• サイズ A5判／ページ数 262p／高さ 21cm
• 商品コード 9784769311492
• NDC分類 549.8
• Cコード C3055

内容説明

本書はフォトマスクの全般について解説したものである。単にフォトマスクを紹介することに留まらず、ＬＳＩマスクを代表にしたマスク技術の変遷、次世代のマスクおよび今後の展望にも言及した。

目次

第１章　フォトマスクとは
第２章　フォトマスク製造の基本技術
第３章　ＬＳＩ用フォトマスクの実際
第４章　ＬＣＤ用フォトマスクの実際
第５章　ＰＷＢ用フォトマスクの実際
第６章　クリーン化技術
第７章　次世代マスクの技術展望
第８章　今後の展望