SiC系セラミック新材料―最近の展開

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  • サイズ A5判/ページ数 355p/高さ 22cm
  • 商品コード 9784753651955
  • NDC分類 573
  • Cコード C3058

目次

1 SiC材料の基礎(SiC材料の開発と特性;SiC結晶構造と熱安定性 ほか)
2 SiC粉末の合成とSiC単結晶の育成(焼結用α‐SiC粉末の合成;焼結用β‐SiC粉末の合成 ほか)
3 SiC焼結体(ホウ素化合物によるSiCの焼結;酸化物助剤によるSiCの焼結と組織制御 ほか)
4 新しいSiC材料とその応用(半導体製造装置用高純度SiC部品;原子力産業用SiC材料 ほか)
5 付表・付録(付表;SiCの多形のX線回折による定量分析方法)

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