化合物半導体のエピタキシャル成長―多様な成長技術とその応用

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化合物半導体のエピタキシャル成長―多様な成長技術とその応用

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  • サイズ A5判/ページ数 232p/高さ 21cm
  • 商品コード 9784753650514
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3042

目次

第1章 半導体の種類と特徴
第2章 化合物半導体エピタキシャル成長の概要
第3章 液相エピタキシャル成長法(LPE)とその応用
第4章 有機金属気相エピタキシャル成長法(MOVPE)とその応用
第5章 分子線エピタキシャル成長法(MBE)とその応用
第6章 MOVPEにおける流量変調エピタキシー(FME)
第7章 MBEにおけるマイグレーション・エンハンスト・エピタキシー(MEE)
第8章 選択エピタキシャル成長法(SAE)
第9章 エピタキシャル成長結晶の半導体レーザ(LD)への応用

著者等紹介

堀越佳治[ホリコシヨシジ]
東北大学工学部電気工学科卒、同大大学院工学研究科電子工学専攻修士課程、博士課程修了。工学博士。NTT基礎研究所研究員、ドイツ・マックスプランク固体研究所研究員、北海道大学客員教授、東北大学客員教授を経て、早稲田大学理工学部教授。早稲田大学名誉教授

河原塚篤[カワハラズカアツシ]
早稲田大学理工学部電気・情報生命工学科卒、同大大学院工学研究科修士課程、博士課程修了。博士(工学)。ドイツ・ポール・ドゥルーデ固体研究所博士研究員、早稲田大学高等研究所講師、准教授、早稲田大学各務記念材料技術研究所主任研究員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
※書籍に掲載されている著者及び編者、訳者、監修者、イラストレーターなどの紹介情報です。

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