内容説明
最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳをわかりやすく解説。
目次
第１章 マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
第２章 ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合バランス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
第３章 ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
第４章 ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）
著者等紹介
江刺正喜［エサシマサヨシ］
１９７１年東北大学工学部電子工学科卒業。１９７６年東北大学大学院博士課程修了、東北大学工学部助手。１９８１年東北大学工学部助教授。１９９０年東北大学工学部教授。１９９５～１９９８年東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー長。２００６～２００９年東北大学大学院工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センター長。現在、東北大学原子分子材料科学高等研究機構（ＷＰＩ‐ＡＩＭＲ）教授。東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）センター長。半導体センサ、マイクロマシーニングによる集積化システム、ＭＥＭＳの研究に従事し、研究開発において先導的な役割を果たしてきた（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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感想・レビュー
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aki310ooooo
2
ノウハウ的な面が大きいこの分野で基本的な製作工程が学べる貴重な本です．題のとおり初めての人向けで，続きはこれからのMEMSの方でどうぞ．2017/07/28
yorip
0
どれくらいのレベルの読者を想定されているかによるが、自分にはきつかった。わかりにくいけど、ネットで調べながら読めばなんとかなるか？2024/06/21
