はじめてのMEMS

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  • サイズ A5判/ページ数 230p/高さ 21cm
  • 商品コード 9784627784918
  • NDC分類 530
  • Cコード C3055

内容説明

最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSをわかりやすく解説。

目次

第1章 マイクロマシーニングとMEMS(マイクロマシーニングとMEMS;MEMSの歴史)
第2章 MEMSの製作(パターニング;エッチング;堆積と応力制御;接合;複合バランス;集積化;パッケージングと組立;設計・評価)
第3章 MEMSの要素(センサ;アクチュエータ;エネルギー源)
第4章 MEMSの応用(自動車・家電応用;情報・通信応用;製造・検査応用;医療・バイオ応用;MEMSビジネス)

著者等紹介

江刺正喜[エサシマサヨシ]
1971年東北大学工学部電子工学科卒業。1976年東北大学大学院博士課程修了、東北大学工学部助手。1981年東北大学工学部助教授。1990年東北大学工学部教授。1995~1998年東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー長。2006~2009年東北大学大学院工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教育センター長。現在、東北大学原子分子材料科学高等研究機構(WPI‐AIMR)教授。東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)センター長。半導体センサ、マイクロマシーニングによる集積化システム、MEMSの研究に従事し、研究開発において先導的な役割を果たしてきた(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
※書籍に掲載されている著者及び編者、訳者、監修者、イラストレーターなどの紹介情報です。

感想・レビュー

※以下の感想・レビューは、株式会社ブックウォーカーの提供する「読書メーター」によるものです。

aki310ooooo

2
ノウハウ的な面が大きいこの分野で基本的な製作工程が学べる貴重な本です.題のとおり初めての人向けで,続きはこれからのMEMSの方でどうぞ.2017/07/28

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