出版社内容情報
本書は，前半でシリコン素子について，後半で集積回路の製造技術について記述した本．技術者が集積回路技術全般の知識を再整理する際の参考書として，またこれから集積回路技術関係に従事する人の入門書として最適．
■目次 １部：シリコン素子（全９章）／２部：製造技術（全11章）
内容説明
集積回路の設計から製造まで基本事項を明快に記述した。
目次
第１部 シリコン素子（半導体；ＰＮ接合ダイオード；ショットキーダイオード；バイポーラトランジスタ；バイポーラトランジスタ回路；接合形電界効果トランジスタ；ＭＯＳトランジスタ；ＭＯＳトランジスタ回路；集積回路）
第２部 製造技術（クリーンシステム；シリコンウエーハ；リソグラフィ；洗浄およびウエットエッチング；エピタキシャル成長；不純物拡散；絶縁膜形成；導電膜形成；ドライエッチング；組み立て；検査、解析、信頼性）
