出版社内容情報
圧電・電歪効果を利用するアクチュエータは，最先端技術の一つ，マイクロメカトロニクスのキーデバイスである．この本は，圧電・電歪アクチュエータの基本理論，材料，構造，製法・駆動・制御方式，応用について解説し，さらに開発の現況，将来の展望に言及した．付録には，各社の最新技術資料を収録した．
内容説明
近年、半導体素子などの集積化が進む中で、サブミクロン・オーダの位置決技術が不可欠となり、電磁式モータに代替する高トルク、高エネルギー変換効率の新方式モータへの需要が増大している。圧電および電歪効果を利用したアクチュエータは、こうしたニーズに応える次世代の“マイクロ・メカトロニクス”の中心を担うキーデバイスになると期待されている。この本は、圧電／電歪アクチュエータの基礎理論から説き起こし、ついで材料、デザイン、制御方法、応用の全般にわたって実際的に解説した待望の手引書である。また、１０章では現在の技術開発の状況を紹介するとともに、今後の課題、将来展望まで言及した。
目次
マイクロ・メカトロニクスの流れと圧電／電歪アクチュエータ
電界誘起歪みの発現機構
アクチュエータ用圧電／電歪材料
圧電／電歪アクチュエータの構造と製法
微小変位の検出方法
圧電／電歪アクチュエータの駆動・制御方式
サーボ変位素子としての応用
パルス駆動モータとしての応用
超音波モータとしての応用
圧電／電歪アクチュエータの開発現況と今後の課題
