分光エリプソメトリー

藤原裕之【著】
丸善出版（2003/06発売）

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サイズ A5判／ページ数 251p／高さ 21cm
商品コード 9784621072530
NDC分類 425.5
Cコード C3042

内容説明

分光エリプソメトリーをもちいた測定技術は飛躍的な発達を遂げ、同時にコンピューターの発達により測定の自動化が進み、その結果、分光エリプソメトリーは、簡便な高精度測定法としての地位を確立し、現在では半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。本書は、これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を大学および企業において分光エリプソメトリーを新しく利用し始めた研究者にわかりやすく解説した入門書として最適です。