内容説明
分光エリプソメトリーをもちいた測定技術は飛躍的な発達を遂げ、同時にコンピューターの発達により測定の自動化が進み、その結果、分光エリプソメトリーは、簡便な高精度測定法としての地位を確立し、現在では半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。本書は、これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を大学および企業において分光エリプソメトリーを新しく利用し始めた研究者にわかりやすく解説した入門書として最適です。
目次
第１章 分光エリプソメトリーとは
第２章 光学の基礎
第３章 偏光
第４章 分光エリプソメトリーの原理
第５章 データ解析
第６章 材料別解析例
第７章 分光エリプソメトリーによる実時間観測
