電子材料シリーズ サブミクロンデバイス〈２〉

小柳 光正【著】/田中 昭二/笛木 和雄/生駒 俊明/岸野 正剛/北沢 宏一/鯉沼 秀臣/長谷川 文夫/平賀 貞太郎【編】

丸善出版（1988/01発売）

• サイズ A5判／ページ数 273p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784621043950
• NDC分類 549.7
• Cコード C3355

内容説明

本書は、先に刊行された「サブミクロンデバイス１」の続編として、サブミクロンデバイスの抱える最重要課題を根底から詳説するものである。

目次

１　序論
２　比例縮小則とデバイス性能
３　ゲート絶縁膜の信頼性
４　ホットキャリア注入現象
５　ソフトエラー