内容説明
本書は、ＶＬＳＩのデバイスは如何に縮小され、如何に動作するかを順を追って述べたものである。
目次
半導体物性とデバイスの基礎（半導体の概念；半導体の電気伝導の機構；シリコン結晶の構造 ほか）
ＭＯＳデバイス（ＭＯＳトランジスタの構造と種類；長チャネルＭＯＳトランジスタの動作原理；短チャネルＭＯＳトランジスタの動作原理 ほか）
バイポーラデバイス（バイポーラトランジスタの構造と種類；バイポーラトランジスタの動作の概要；バイポーラトランジスタの動作原理 ほか）
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