Ｍａｒｕｚｅｎ ａｄｖａｎｃｅｄ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＵＬＳＩプロセスの基礎技術

古川 静二郎【編】

丸善出版（1991/03発売）

• サイズ A5判／ページ数 262p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784621035832
• NDC分類 549.7
• Cコード C3355

内容説明

本書はＵＬＳＩプロセスに関連するあらゆる技術を幅広く網羅し、それぞれの分野の第一人者が各章の執筆を担当している。２１世紀に向けてシリコン加工技術がどのように発展し、ＵＬＳＩはどこまで進むのか、今後解決されるべき問題は何か、そのすべてを展望する。

目次

１章　ＵＬＳＩ基礎技術の展望
２章　光リソグラフィー
３章　Ｘ線リソグラフィー
４章　ドライエッチング
５章　薄膜形成技術
６章　集束イオンビーム技術
７章　ＳＯＩ技術
８章　ＵＬＳＩプロセシングにおける欠陥制御