内容説明
本書は、それぞれの分野の第一線で活躍している執筆者による、アモルファス半導体の最新の解説書である。まずアモルファス半導体の構造特性を概観し、光学的・電気的性質や不純物添加とpn制御などについて解説する。とくに、カルコゲナイド系・テトラヘドラル系の2大アモルファス半導体を、比較対照のもとに詳述している。さらに太陽電池、感光体材料、薄膜トランジスタ、撮像管その他、多岐にわたる応用の現状を紹介する。また、周辺物質として、近年注目を集めている薄膜多結晶SiやナノSiにも言及する。
目次
アモルファス構造と欠陥
電子状態と光学的性質
電気的性質
テトラヘドラル系材料作製法
テトラヘドラル系材料
カルコゲナイド系材料
不純物添加とpn制御
光誘起現象
アモルファス半導体の応用