マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス

江刺 正喜/藤田 博之/五十嵐 伊勢美/杉山 進【共著】

培風館（1992/06発売）

• サイズ B5判／ページ数 254p／高さ 27X20cm
• 商品コード 9784563034702
• NDC分類 549
• Cコード C3053

目次

１　マイクロマシーニング
２　マイクロフィジックス
３　マイクロメカニカルセンサ
４　マイクロアクチュエータとマイクロメカニズム
５　マイクロメカトロニクス（「まめ」）システム
６　応用
７　将来動向と課題