出版社内容情報
クリーンルームを使った製造に携わる人が必要な基礎から静電気対策全般を習得、自ら実施できるように事例などを入れながら、わかりやすく解説する。
内容説明
事故や歩留まり低下をこれで防ぐ！
目次
第１章 静電気の基礎
第２章 半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
第３章 半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策の方法
第４章 クリーンルームにおけるイオナイザーによる静電気対策の問題点
第５章 コロナ放電式イオナイザーの電極からの発塵の問題
第６章 開発されたクリーンルーム用イオナイザー
第７章 静電気対策の事例
著者等紹介
鈴木政典［スズキマサノリ］
１９８４年３月名古屋大学大学院工学研究科博士前期課程化学工学専攻修了。１９８４年４月（株）テクノ菱和入社、技術開発研究所へ配属。２００２年８月豊橋技術科学大学大学院工学研究科博士後期課程環境・生命工学専攻入学。２００５年７月豊橋技術科学大学大学院工学研究科博士後期課程環境・生命工学専攻修了。「清浄環境下におけるイオナイザーによる静電気除去技術に関する研究」で博士（工学）取得（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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