目次
プロローグ 研磨加工の流れは技能重視から技術化へ
第１章 研磨加工の特徴
第２章 研磨装置の基本構成
第３章 研磨理論の基礎
第４章 研磨運動の解析
第５章 研磨圧力の解析
第６章 シミュレーションに必要なパラメータの特性測定
第７章 各種研磨方式のシミュレーションに対する検証
著者等紹介
宇根篤暢［ウネアツノブ］
１９７１年大阪大学大学院工学研究科精密工学専攻。修士課程修了。１９７１～８３年日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所。１９８３～８５年日本電信電話公社厚木研究開発センター。１９８５～９３年ＮＴＴ ＬＳＩ研究所主幹研究員・グループリーダ。１９９３～９６年ＮＴＴアドバンステクノロジに出向。１９９６～現在、防衛大学校教授
河西敏雄［カサイトシオ］
１９６０年山梨大学工学部機械工学科卒業。１９６３～６８年山梨大学工学部助手・講師。１９６８～８２年日本電信電話公社武蔵野および茨城電気通信研究所。１９８２～９８年埼玉大学工学部助教授・教授。１９９８～０２年埼玉大学大学院理工学研究科教授。２００２～現在、埼玉大学名誉教授。２００２～０７年東京電機大学工学部特別選任教授。２００７～現在、（株）河西研磨技術特別研究室代表取締役（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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