内容説明
本書は、システムLSIの作り方を設計から製造、組立、検査まで工程順にやさしく解説したものである。
目次
第1章 システムLSIとは
第2章 設計工程
第3章 システムLSI対応ウェーハ製造工程
第4章 フォトマスク製作工程
第5章 ウェーハ処理工程(プロセス前工程)
第6章 組立工程(実装パッケージング)
第7章 検査工程
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