内容説明
本書は、システムLSIの作り方を設計から製造、組立、検査まで工程順にやさしく解説したものである。
目次
第1章 システムLSIとは
第2章 設計工程
第3章 システムLSI対応ウェーハ製造工程
第4章 フォトマスク製作工程
第5章 ウェーハ処理工程(プロセス前工程)
第6章 組立工程(実装パッケージング)
第7章 検査工程
本書は、システムLSIの作り方を設計から製造、組立、検査まで工程順にやさしく解説したものである。
第1章 システムLSIとは
第2章 設計工程
第3章 システムLSI対応ウェーハ製造工程
第4章 フォトマスク製作工程
第5章 ウェーハ処理工程(プロセス前工程)
第6章 組立工程(実装パッケージング)
第7章 検査工程