出版社内容情報
アジア各国の急速な進展とそれに立ち向かう日本の半導体産業について，現場の技術者が日本の半導体技術および製造装置の現状と将来を語り合う．◆項目 露光装置 洗浄装置 熱処理装置 イオン注入装置 スパッタリング装置・ＣＶＤ装置 ほか
内容説明
本書は、単に特定の業界の内幕話ではなく、半導体という先端技術産業の今後の進展を占う、生きた素材を提供している。
目次
第１章 「超ＬＳＩ」ブレークスルーの鍵 露光装置
第２章 多様化と標準化の両立を求めて―エッチング・レジスト処理・洗浄装置
第３章 枚葉化と標準化の大きなうねり―拡散・熱処理装置
第４章 ユーザーとの相互協力で時代にミート―イオン注入装置
第５章 日本にもほしいロードマップ―スパッタリング装置・ＣＶＤ装置
第６章 安定生産ニーズにいかに応えるか―組立装置
第７章 プローバ、ハンドラ、テスタメーカー三者一体となった開発が必要―検査装置
感想・レビュー
※以下の感想・レビューは、株式会社ブックウォーカーの提供する「読書メーター」によるものです。
奥山雅之
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２０年前の半導体製造装置の未来を技術者たちの対談形式で綴った本。今読むとまた新鮮。この２０年、半導体チップそのものだけでなく、製造装置分野においても日本は大きくシェアを落としたが、その原因の一端が透けて見えた。2015/10/28
