内容説明
半導体デバイス製造に関する用語辞典。７つの工程順に分け、その中をさらに分類順に構成する。各項目内は用語・読み方・意味・英訳を表形式で掲載する。巻末の資料編には、引用文献一覧表、半導体製造装置構成表などの図解、国際単位系計量単位がある。日本語索引・英語索引を付す。１９８７年初版刊行のものの第３版にあたる。
目次
第１章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章 設計工程用語
第３章 マスク製作工程用語
第４章 ウェーハ製造工程用語
第５章 ウェーハ処理工程用語
第６章 組立工程用語
第７章 検査工程用語
第８章 設備・環境工程用語
