出版社内容情報
最近の先端生産技術でのナノメータースケール加工技術と，超精密加工における化学的効果についての解説書．◎項目 超精密加工と化学，表面・界面の現象と処理，実際の加工（ポリシング，研削，エッチング，薄膜形成，ビーム加工など），未来技術．
目次
１ 総論（精密加工における化学的要因；固体接触における化学的効果―固体相互を接触させて起こる化学反応；精密加工における化学現象に関する研究の歴史）
２ 基礎編（表面・界面のイメージ；表面・界面現象；表面・界面のキャラクタリゼーション）
３ 実際編（ポリシング；研削加工；切削加工；エッチング；薄膜形成加工；エネルギービーム加工）
４ 未来技術編（デジタル・エッチング；デジタルＣＶＤ；放射光の利用；原子オーダパターン；プラズマＣＶＭ）
