内容説明
半導体・日本がいかにして成立したか、そのルーツと発展の経緯、苦闘の歩みを明らかにする。
目次
第１章 半導体産業、夜明けの時代
第２章 ＩＣ、ＬＳＩの時代
第３章 超ＬＳＩの時代
第４章 光学王国・日本の真価 露光装置
第５章 自動化の推進役 エッチング・レジスト処理・洗浄装置
第６章 前工程の代表装置 酸化・ドーピング装置
第７章 超ＬＳＩ化で重要度増す 膜形成装置
第８章 半導体日本の立役者 組立用装置
第９章 一気に世界のトップへ 検査用装置
第１０章 １ギガビット以降を展望する
