「半導体立国」日本―独創的な装置が築きあげた記録

日本半導体製造装置協会【編】

日刊工業新聞社（1991/11発売）

• サイズ B6判／ページ数 403p／高さ 20X14cm
• 商品コード 9784526030420
• NDC分類 549.8
• Cコード C3034

内容説明

半導体・日本がいかにして成立したか、そのルーツと発展の経緯、苦闘の歩みを明らかにする。

目次

第１章　半導体産業、夜明けの時代
第２章　ＩＣ、ＬＳＩの時代
第３章　超ＬＳＩの時代
第４章　光学王国・日本の真価　露光装置
第５章　自動化の推進役　エッチング・レジスト処理・洗浄装置
第６章　前工程の代表装置　酸化・ドーピング装置
第７章　超ＬＳＩ化で重要度増す　膜形成装置
第８章　半導体日本の立役者　組立用装置
第９章　一気に世界のトップへ　検査用装置
第１０章　１ギガビット以降を展望する