表面改質技術―ドライプロセスとその応用

精密工学会表面改質に関する調査研究分科会【編】

日刊工業新聞社（1988/09発売）

• サイズ A5判／ページ数 374p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784526023620
• NDC分類 566.7

目次

プロセス編　ソース（レーザ；電子ビーム；イオン）
各論（ＣＶＤ；ＰＶＤ；構造制御；プラズマ溶射）
応用編（トライボロジ的観点から見た表面改質の問題点；トライボロジにおける硬質膜の評価法；微小硬度計による硬質膜の評価；応用事例）