光・プラズマ プロセシング

明石 和夫/服部 秀三/松本 修【編】

日刊工業新聞社（1986/09発売）

• サイズ A5判／ページ数 370,／高さ 22cm
• 商品コード 9784526020780
• NDC分類 427.6

目次

１　非平衡プラズマの基礎
２　プラズマ診断
３　光によるイオン化・励起と反応
４　熱プラズマの基礎と診断
５　プラズマＣＶＤの基礎
６　プラズマＣＶＤプロセス
７　光ＣＶＤ
８　プラズマ重合
９　有機材料のプラズマ表面処理
１０　プラズマエッチングの基礎
１１　プラズマエッチングプロセス
１２　光エッチング
１３　プラズマ表面反応
１４　気相熱プラズマプロセス
１５　プラズマ製錬・プラズマ溶解
１６　プラズマ表面処理プロセス