プラズマと成膜の基礎

小沼 光晴【著】

日刊工業新聞社（1986/08発売）

• サイズ A5判／ページ数 202,／高さ 22cm
• 商品コード 9784526020650
• NDC分類 549.8

目次

第１章　プラズマの概念と状態
第２章　プラズマ中の反応
第３章　低温プラズマの発生
第４章　プラズマ診断
第５章　低温プラズマと成膜
第６章　スパッタデポジションとイオンプレーティング
第７章　プラズマＣＶＤとプラズマ重合
第８章　低温プラズマによる表面改質