プラズマと成膜の基礎

プラズマと成膜の基礎

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  • サイズ A5判／ページ数 202,／高さ 22cm
  • 商品コード 9784526020650
  • NDC分類 549.8

目次

第１章　プラズマの概念と状態
第２章　プラズマ中の反応
第３章　低温プラズマの発生
第４章　プラズマ診断
第５章　低温プラズマと成膜
第６章　スパッタデポジションとイオンプレーティング
第７章　プラズマＣＶＤとプラズマ重合
第８章　低温プラズマによる表面改質

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