Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ 微細加工のはなし

高梨 明紘【著】〔タカナシ/アキヒロ〕

日刊工業新聞社（1986/04発売）

• サイズ B6判／ページ数 159p／高さ 19cm
• 商品コード 9784526020186
• NDC分類 532

目次

第１章　はじめに
第２章　急速に微細化した電子素子
第３章　トランジスタのできるまで
第４章　超ＬＳＩを支える微細加工技術
第５章　長い歴史を有する機械加工技術
第６章　新しく活躍が期待される加工法
第７章　微細部品加工とマイクロメカニズム