Science and technology<br> 微細加工のはなし

Science and technology
微細加工のはなし

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  • サイズ B6判/ページ数 159p/高さ 19cm
  • 商品コード 9784526020186
  • NDC分類 532

目次

第1章 はじめに
第2章 急速に微細化した電子素子
第3章 トランジスタのできるまで
第4章 超LSIを支える微細加工技術
第5章 長い歴史を有する機械加工技術
第6章 新しく活躍が期待される加工法
第7章 微細部品加工とマイクロメカニズム

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