微細加工―サブミクロン素子への展開

微細加工―サブミクロン素子への展開

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  • サイズ A5判／ページ数 240p／高さ 21X15cm
  • 商品コード 9784501313302
  • NDC分類 549.7
  • Cコード C3055

目次

微細加工の歴史
微細加工
半導体の微細加工
微細加工の発達
成膜技術
大規模集積回路の作成法
集積回路の設計
微細加工の限界

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