ＬＳＩ設計製作技術

谷川 紘/雨宮 好仁【編】

電気書院（1987/09発売）

• サイズ A5判／ページ数 486p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784485662229
• NDC分類 549.7

目次

第１編　ＩＣの基礎（ＭＯＳＦＥＴの原理；回路設計；パターン設計；マスク製作；ＭＯＳＬＳＩの製造プロセス；回路試験；組立工程）
第２編　実用技術と装置（設計；マスク製作；ウェーハプロセス；回路試験；組立とパッケージング；信頼性）