プラズマ工学

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  • サイズ A5判/ページ数 168p/高さ 22cm
  • 商品コード 9784485302125
  • NDC分類 427.6
  • Cコード C3054

目次

プラズマとは
プラズマの発生・維持
プラズマを記述する方程式とプラズマの特性
プラズマ内の波
拡散とプラズマ密度分布
プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源
誘導結合形プラズマ源
電磁波を用いた高密度プラズマ源
スパッタリングと直流マグネトロン放電
プラズマ計測
半導体プロセスへの応用
プラズマの光源としての応用
核融合発電への応用
大気圧放電とその応用
超粒子シミュレーション

著者紹介

小越澄雄[コゴシスミオ]
1977東京大学大学院電気工学博士課程修了。工学博士。1977英国オックスフォード大学研究員。1980東京大学電気工学科助手、1987講師。1987東京理科大学理工学部助教授。1997東京理科大学理工学部教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)