目次
プラズマとは
プラズマの発生・維持
プラズマを記述する方程式とプラズマの特性
プラズマ内の波
拡散とプラズマ密度分布
プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源
誘導結合形プラズマ源
電磁波を用いた高密度プラズマ源
スパッタリングと直流マグネトロン放電
プラズマ計測
半導体プロセスへの応用
プラズマの光源としての応用
核融合発電への応用
大気圧放電とその応用
超粒子シミュレーション
著者等紹介
小越澄雄［コゴシスミオ］
１９７７東京大学大学院電気工学博士課程修了。工学博士。１９７７英国オックスフォード大学研究員。１９８０東京大学電気工学科助手、１９８７講師。１９８７東京理科大学理工学部助教授。１９９７東京理科大学理工学部教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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