目次
1編 装置のメカニズム(真空ポンプ;真空計;質量分析計)
2編 真空技術の基本公式(PV=nRT;平衡蒸気圧;気体の衝突頻度J=NV/4;愛のごとき物質の変化)
著者等紹介
平谷雄二[ヒラタニユウジ]
1981年東北大学工学部通信工学科卒業。1986年東北大学大学院工学研究科博士課程修了(電子工学専攻)。1986年古河電気工業(株)入社。現在に至る。1995年博士(工学)
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