表面・薄膜分子設計シリーズ イオンビームによる薄膜設計

山田 公【著】

共立出版（1991/09発売）

• サイズ B6判／ページ数 114p／高さ 19X13cm
• 商品コード 9784320085152
• NDC分類 431.86
• Cコード C3355

出版社内容情報

【解説】
イオンビームの作用，役割から種々の薄膜形成法及び形成した薄膜の応用までをわかり易く解説。

【目次】
薄膜の形成・イオンビームの作用・種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法・プラズマ中での薄膜形成法他

目次

第１章　薄膜の形成
第２章　イオンビームの作用
第３章　種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法
第４章　プラズマ中での薄膜形成法
第５章　真空中での薄膜形成法