超高真空技術の実際

Ｗｅｓｔｏｎ，Ｇ．Ｆ．【著】/石川 和雄【訳】

共立出版（1991/07発売）

• サイズ A5判／ページ数 391p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784320032859
• NDC分類 534.93
• Cコード C3042

出版社内容情報

【解説】
超高真空技術全般のノウハウを系統的に詳述。また訳書では，「アルミニウム合金製超高真空系システム」の解説（石丸　肇・執筆）を併載として付した。

【目次】
真空科学，技術の基礎・超高真空用材料・ポンプ・全圧測定他

目次

第１章　真空科学・技術の基礎
第２章　超高真空用材料
第３章　ポンプ
第４章　全圧測定
第５章　分圧測定
第６章　超高真空配管用構成部品
第７章　系と応用
第８章　リーク検出
併載　アルミニウム合金製超高真空システム