マイクロプラズマ―基礎と応用

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マイクロプラズマ―基礎と応用

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  • サイズ A5判/ページ数 260p/高さ 22cm
  • 商品コード 9784274207037
  • NDC分類 427.6

目次

第1章 序論(マイクロプラズマの定義とその特徴;マイクロプラズマの生成 ほか)
第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象(高密度媒質による特徴;微小性による特徴 ほか)
第3章 マイクロプラズマの生成(気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術;液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術 ほか)
第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション(プラズマメータの計測;気相・表面近傍での反応活性種の計測 ほか)
第5章 マイクロプラズマの応用(材料プロセス応用;微量化学分析・センサへの応用 ほか)

著者紹介

橘邦英[タチバナクニヒデ]
1973年京都大学大学院工学研究科博士課程修了。1974年工学博士。現在、京都大学大学院工学研究科電子工学専攻教授

石井彰三[イシイショウゾウ]
1973年東京工業大学大学院理工学研究科博士課程修了。1973年工学博士。現在、東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻教授

寺嶋和夫[テラシマカズオ]
1984年東京大学大学院工学系研究科修士課程修了。1988年工学博士。現在、東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系専攻准教授

白藤立[シラフジタツル]
1991年京都大学大学院工学研究科博士後期課程中途退学。1998年博士(工学)。現在、京都大学産官学連携センター知的財産室准教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)