内容説明
理論と技術、装置全般の原理や法廷方法など「ＬＳＩのテスト」を体系化。
目次
１編 ＬＳＩ製造工程と検査・解析（設計工程：テスト設計；マスク製造工程 ほか）
２編 歩留り解析（歩留り解析；マスク解析 ほか）
３編 故障解析（故障現象概論；故障解析の流れ ほか）
４編 ツールの原理（光；Ｘ線 ほか）
感想・レビュー
※以下の感想・レビューは、株式会社ブックウォーカーの提供する「読書メーター」によるものです。
ビーグルの匂い
1
半導体評価の色々な方法を要約して解説している本。こういう本を個人が購入するケースは稀で、企業や大学が購入することになるのだろう。特定の評価手法に特化して詳細を書いた本に比べて、内容の濃さは遠く及ばず、読んでも中途半端な印象を持つことになるかも知れない。2017/04/01
