LSIテスティングハンドブック

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  • サイズ A5判/ページ数 598p/高さ 23cm
  • 商品コード 9784274206320
  • NDC分類 549.7

内容説明

理論と技術、装置全般の原理や法廷方法など「LSIのテスト」を体系化。

目次

1編 LSI製造工程と検査・解析(設計工程:テスト設計;マスク製造工程 ほか)
2編 歩留り解析(歩留り解析;マスク解析 ほか)
3編 故障解析(故障現象概論;故障解析の流れ ほか)
4編 ツールの原理(光;X線 ほか)