出版社内容情報
実際の目的に直結した、電子線リソグラフィの活用のノウハウ本。
目次
第１章 電子線リソグラフィ概論
第２章 電子線制御技術
第３章 電子線描画装置
第４章 電子線描画技術
第５章 電子線レジスト
第６章 電子線リソグラフィプロセス
第７章 電子線リソグラフィ技術の活用
第８章 電子線描画装置の導入
第９章 電子線描画装置の操作方法
著者等紹介
横山浩［ヨコヤマヒロシ］
１９７９年東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻修士課程修了。１９８７年工学博士。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門研究部門長
秋永広幸［アキナガヒロユキ］
１９９２年筑波大学大学院博士課程工学研究科修了、工学博士。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門研究グループ長（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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