電子線リソグラフィ教本

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  • サイズ A5判/ページ数 210p/高さ 21cm
  • 商品コード 9784274204159
  • NDC分類 549

目次

第1章 電子線リソグラフィ概論
第2章 電子線制御技術
第3章 電子線描画装置
第4章 電子線描画技術
第5章 電子線レジスト
第6章 電子線リソグラフィプロセス
第7章 電子線リソグラフィ技術の活用
第8章 電子線描画装置の導入
第9章 電子線描画装置の操作方法

著者紹介

横山浩[ヨコヤマヒロシ]
1979年東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻修士課程修了。1987年工学博士。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門研究部門長

秋永広幸[アキナガヒロユキ]
1992年筑波大学大学院博士課程工学研究科修了、工学博士。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門研究グループ長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

出版社内容情報

実際の目的に直結した、電子線リソグラフィの活用のノウハウ本。