目次
１章 本書の構成と使い方
２章 センサ・マイクロマシンの概要
３章 微細構造製作プロセス技術
４章 物理センサ
５章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
６章 化学センサとマイクロ化学システム
著者等紹介
藤田博之［フジタヒロユキ］
１９８０年東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。１９８０年工学博士。現在、東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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