EE text<br> センサ・マイクロマシン工学

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センサ・マイクロマシン工学

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  • サイズ B5判/ページ数 209p/高さ 26cm
  • 商品コード 9784274201349
  • NDC分類 501.22

目次

1章 本書の構成と使い方
2章 センサ・マイクロマシンの概要
3章 微細構造製作プロセス技術
4章 物理センサ
5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章 化学センサとマイクロ化学システム

著者紹介

藤田博之[フジタヒロユキ]
1980年東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。1980年工学博士。現在、東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)