真空ハンドブック

日本真空技術【編】

オーム社（1992/11発売）

• サイズ B5判／ページ数 385p／高さ 27X20cm
• 商品コード 9784274086373
• NDC分類 534.93
• Cコード C3053

目次

第１章　真空の基礎
第２章　真空用部品
第３章　真空用構成材料
第４章　熱
第５章　低温
第６章　プラズマ・イオンビーム
第７章　表面分析
第８章　薄膜・標面加工
第９章　化学・薬品・食品工業への真空の応用
第１０章　その他の資料