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出版社内容情報
【セールスポイント】
最新の研究成果をもとに詳しく解説
【発刊の目的と内容】
本書は、エレクトロニクス産業における基盤である機能性材料の一つとして注目を浴びている透明導電膜について、最新の研究成果をもとにまとめる技術者向けの実務書である。
透明導電膜の開発の歴史にはじまり、材料やその基礎的性質、製造法、加工法から評価法にいたるまでを、実務に即した内容で解説している。また、巻末には透明導電膜の関連材料および装置についての業務資料を付録として掲載している。
【購読対象者】
電子機能材料関連の技術者，研究者
【詳細目次】
1章 地球環境，エネルギー，情報化社会
1.1 地球環境問題
1.2 エネルギー問題と太陽電池技術
1.3 情報化社会とディスプレイ技術
2章 透明導電膜は何に使われるか
2.1 透明導電膜とは―ITO膜開発の歴史―
2.2 液晶ディスプレイ
2.3 プラズマディスプレイ
2.4 そのほかのディスプレイ
2.5 太陽電池用透明導電ガラス
2.6 機能性ガラス
2.7 導電性フィルム
2.8 透明導伝膜を利用するそのほかの技術
3章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か
3.1 透明導電膜材料の基礎物性
3.2 欠陥と電子状態
3.3 電気的性質
3.4 光学的性質
4章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか
4.1 透明導電膜材料の特質
4.2 酸化インジウム
4.3 酸化スズ
4.4 酸化亜鉛
4.5 新材料開発の試み
5章 透明導電膜はどのようにして作るか
5.1 スパッタ法
5.2 スパッタ用ターゲット材料
5.3 真空蒸着法とイオンプレーティング法
5.4 そのほかの方法（化学的作製法）
6章 透明導電膜をいかに微細加工するか
6.1 フォトリソグラフィーによる電極加工方法
6.2 ウェットエッチングによる電極加工方法
6.3 ドライエッチングによる電極加工方法
7章 透明導電膜はどのように評価するか
7.1 力学的特性の測定法
7.2 光学的特性の測定法
7.3 電気的特性の測定法
付録 業務資料
内容説明
本書は、透明導電性酸化物薄膜材料に関する技術解説書である。関連産業とその技術の社会的位置づけ、および透明導電膜の歴史、物質科学、応用例を述べ、関連する材料科学を紹介、実用デバイスへの薄膜の応用にあたって必要となる技術、薄膜の作製法、微細加工法、および機能の評価方法を詳細に解説している。最後に、薄膜作製にあたって必要となる材料および装置の入手に関するデータを付録としてまとめた。
目次
第１章 地球環境・エネルギー・情報化社会
第２章 透明導電膜は何に使われるか
第３章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か
第４章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか
第５章 透明導電膜はどのようにして作るか
第６章 透明導電膜をいかに微細加工するか
第７章 透明導電膜はどのように評価するか
