ＬＳＩプロセス工学 （改訂２版）

右高 正俊【編著】

オーム社（1988/12発売）

• サイズ A5判／ページ数 283p／高さ 22X16cm
• 商品コード 9784274032233
• NDC分類 549.7
• Cコード C3055

内容説明

ＬＳＩプロセスに応用されている物理・化学現象と、実際の装置・設備の両面から詳しく解説し、急速な技術の進歩に即応できる多方面の知識が得られる内容となっています。日進月歩の技術革新に対応して全面改訂！

目次

１章　概説
２章　ＬＳＩ、超ＬＳＩ基本プロセス概要
３章　ＬＳＩ基本回路構成
４章　ＬＳＩプロセスの基礎
５章　リソグラフィ技術と装置
６章　ＬＳＩプロセス装置
７章　ＬＳＩ、超ＬＳＩプロセス
８章　清浄化技術
９章　結言