目次
１ マイクロ工学の基礎
２ マイクロマシニング
３ マイクロオプティカルセンサ
４ マイクロメカニカルセンサ
５ マイクロアクチュエータ
６ マイクロオプティクス
７ マイクロオプトメカトロニクス融合技術とその応用
著者等紹介
五十嵐伊勢美［イガラシイセミ］
元株式会社豊田中央研究所副所長
江刺正喜［エサシマサヨシ］
東北大学大学院工学研究科教授
藤田博之［フジタヒロユキ］
東京大学生産技術研究所教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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