目次
１ 精密計測の基準
２ 長さスケール
３ 角度スケール
４ 時間スケール
５ 幾何形状と表面性状の計測
６ 光干渉計
７ マシンビジョン
８ 空間位置計測
９ 光学顕微鏡
１０ 走査プローブ顕微鏡
１１ 誤差要因と不確かさ
１２ 自律校正法
１３ 機械学習と精密計測
１４ 超短パルスレーザと光周波数コム
著者等紹介
高偉［コウイ］
東北大学大学院工学研究科教授
清水裕樹［シミズユウキ］
北海道大学大学院工学研究院教授
水谷康弘［ミズタニヤスヒロ］
大阪大学大学院工学研究科准教授
道畑正岐［ミチハタマサキ］
東京大学大学院工学系研究科准教授
河野大輔［コウノダイスケ］
京都大学大学院工学研究科准教授
吉田一朗［ヨシダイチロウ］
法政大学大学院理工学研究科教授
伊東聡［イトウサトシ］
富山県立大学工学部准教授
清水浩貴［シミズヒロキ］
九州工業大学大学院工学研究院准教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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