出版社内容情報
人間の五感の工学的表現ともいえるセンサは，コンピュータ等の発展で飛躍的な進歩を遂げているが本書はその工学的基礎を詳述。〔内容〕センサ概説／変換機能の種類／センサ機能性材料／各種センサ／光ファイバセンサ／センサの微細加工技術
【目次】
1. センサ概説
1.1 センサとは
1.2 センサの分類
1.3 将来の展望
2. 変換機能の種類
2.1 物理関連現象を利用した変換機能
2.2 化学関連現象を利用した変換機能
2.3 生物関連現象を利用した変換機能
3. センサ機能性材料
3.1 無機物Ⅰ：半導体・半導体セラミックス
3.2 無機物Ⅱ：ファインセラミックス
3.3 金属
3.4 有機物および高分子
4. センサ
4.1 圧力センサ
4.2 変位センサ
4.3 ひずみゲージ（センサ）
4.4 磁気センサ
4.5 温度センサ
4.6 光センサ
4.7 湿度センサ
4.8 ガスセンサ
4.9 バイオセンサ
4.10 超電導磁気抵抗素子
5. 光ファイバセンサ
5.1 光ファイバの種類
5.2 光ファイバセンサの形態
5.3 光ファイバセンサの種類
6. センサの微細加工技術
6.1 マイクロマシニングとセンサ
6.2 酸化技術
6.3 パターン形成
6.4 不純物ドーピング
6.5 膜形成
6.6 接合技術
7. 参考文献
8. 索 引
内容説明
コンピュータの高性能化、小形化などの急速な進展に対応して、外界の情報を検知し電気信号に変換するための多種多様なセンサが実用化に向けて研究・開発されている。本書では、“センサ用材料”と“変換機能”を中心に、基礎事項、諸現象を系統的に扱い、とくに最も基本になる単一物理量および化学量などを電気量あるいは他の量に変換する基本センサについて記述し、さらに最近注目されている光ファイバセンサ、微細加工技術についても取り上げ、先端技術の一端を容易に理解できるように整理し、解説している。
目次
１ センサ概説
２ 変換機能の種類
３ センサ機能性材料（無機物１―半導体・半導体セラミックス；無機物２―ファインセラミックス；金属；有機物および高分子）
４ センサ（圧力センサ；変位センサ；ひずみゲージ；磁気センサ；温度センサ；光センサ；湿度センサ；ガスセンサ；バイオセンサ；超電導磁気抵抗素子）
５ 光ファイバセンサ
６ センサの微細加工技術
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