出版社内容情報
各種の薄膜化技術,分子線エピタキシー技術,イオン注入法など先端的プロセス技術の要点を明快に解説.また材料設計的視点を重視して,結晶の高純度化・育成・制御および金属プロセス技術について分かりやすく述べている.
内容説明
材料の創製にかかわる材料プロセス技術はキィーテクノロジーとしてきわめて重要な位置を占めている。新材料の開発には、材料シーズの探索、材料の設計、材料の評価技術と相俟って、材料プロセス技術が最も重要な役割を演じている。本巻は、材料プロセス技術に関し、バルク材料の製錬、高純化、完全化ならびに膜材料の成長、評価、応用例などを扱っている。
目次
1. 金属プロセス技術の基礎(金属製錬技術;鉄鋼製錬)
2. 材料の高純度化(材料の精製法;高純度の検定)
3. 単結晶の育成と結晶欠陥の制御(単結晶成長法;結晶欠陥の生成とその評価)
4. 薄膜プロセス技術(プラズマ・光プロセスの基礎;基礎プロセス技術;真空蒸着)
5. 分子線エピタキシー技術(分子線エピタキシー法による結晶成長;新しいMBE技術)
6. イオン注入(イオン注入装置とその特色;イオン注入層の巨視的改質)