内容説明
本書は、今日の代表的な最先端技術である超ＬＳＩ技術を、化学技術者の目で見、理解してまとめられたものである。すなわち超ＬＳＩのしくみ、市場問題や今までの発展過程を述べたあと、超ＬＳＩ製造プロセスとそれを支える要素技術・パッケージング技術・評価技術を紹介し、解決が望まれている問題点を明らかにしている。
目次
１ 超ＬＳＩの開く世界
２ 半導体マーケット
３ 半導体技術の歩みと展望
４ 超ＬＳＩのしくみ
５ 超ＬＳＩ製造プロセス
６ 周辺技術
７ 今後の技術的諸課題
８ ケミカルエンジニアリングからのアプローチ
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