出版社内容情報
初めて半導体を学ぶ人達のために書かれた本。ＬＳＩはどのようにして作られるのかを、設計工程から組立、検査までの全工程を図表を多く使ってやさしく解説。工程を追って解説していくので理解しやすく、教科書、テキストとして使える
内容説明
本書は、高専や大学などで初めて半導体を学ぶ学生さん、或いは半導体関連実務の初心者を対象に書かれたもの。ＬＳＩの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説している。
目次
第１章 半導体ＬＳＩとは
第２章 半導体製造技術及び装置技術の動向
第３章 設計工程
第４章 ウェーハ製造工程
第５章 フォトマスク製作工程
第６章 ウェーハ処理工程（前工程）
第７章 組立工程
第８章 検査工程
