ブルーバックス ナノテクノロジー・表面分析の科学―原子・分子スケールで表面を見る

小宮 宗治/田中 彰博/大岩 烈【著】

講談社（1992/12発売）

• サイズ 新書判／ページ数 320p／高さ 18X12cm
• 商品コード 9784061329485
• NDC分類 428.4
• Cコード C0250

内容説明

今日の半導体産業の超ＬＳＩ素子では、１ミリメートルの１万分の１単位の大きさのチリが、２０センチメートル程度のシリコン基盤の上に１個も見つからないという、気の遠くなるような清浄さが目標とされています。そのためにも、原子の数を１つ１つ数えるのに等しいレベルで固体表面を観察し、分析する技術が要求されます。ことは半導体産業に限りません。ナノテクノロジーの申し子のようなこれらの表面分析法について、その基本原理から用途まで、わかりやすく紹介しましょう。

目次

第１章　序にかえて―ナノテクノロジーの世界へ
第２章　微小領域の表面世界をさぐるオージェ電子分光法
第３章　商品開発の名アシスタント・ＥＳＣＡ
第４章　極微量の不純物を分析するＳＩＭＳ
第５章　表面分析装置のもっとも効果的な使い方
第６章　最新ナノテクノロジー表面分析器