アドバンストエレクトロニクスシリーズ<br> バルク結晶成長技術

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アドバンストエレクトロニクスシリーズ
バルク結晶成長技術

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  • サイズ A5判／ページ数 367p／高さ 22cm
  • 商品コード 9784563036041
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3355

目次

第１編　シリコン結晶成長技術（シリコン結晶成長技術の進展；ＣＺ法シリコン結晶中の欠陥核形成；酸素濃度制御と磁界技術；連続充填引上げ法；二層引上げ法；融液対流とシミュレーション技術）
第２編　化合物半導体結晶成長技術（液体封止引上げ法；水平ブリッジマン法；垂直ブリッジマン法；２‐６族結晶成長法）
第３編　酸化物結晶成長技術（引上げ法；融液成長法；溶液成長法；対流、熱流シミュレーション）