新産業化学シリーズ<br> 化合物半導体―プロセスと化学

新産業化学シリーズ
化合物半導体―プロセスと化学

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  • サイズ A5判/ページ数 190p/高さ 22cm
  • 商品コード 9784477004815
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3343

目次

1 化合物半導体とは
2 化合物半導体の基礎物性
3 バルク結晶成長技術
4 バルク結晶の加工技術
5 薄膜結晶成長技術
6 化合物半導体結晶の評価技術
7 化合物半導体の展望と課題